讲座名称：集成电路与光刻机

讲座人：王向朝 研究员

讲座时间：1月5日14:00

讲座地点：腾讯会议直播（ID：931 712 682 密码：123456）

讲座人介绍：

王向朝，1982年毕业于大连理工大学。1989年作为日本政府国费留学生赴日本留学，就读于日本新泻大学工集团，1992年获硕士学位，1995年获博士学位。1995年至1998年8月留校任助理教授。1998年9月回国，进入上海光学精密机械研究所工作至今，研究员、博士生导师。 国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（02专项）总体专家组专家，光刻机工程指挥部专家。获国际与国内授权发明专利160余项，在国际与国内光学与光刻领域主流期刊发表学术论文360余篇。在光刻机技术领域出版学术专著3部，培养博士研究生60余名（含我国高端光刻机整机技术领域第一批博士研究生）。

讲座内容：

介绍集成电路与光刻机的发展历程，光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等内容，并介绍国际最新进展。

主办单位：机电工程集团